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マッピング省配線システム Mapping Terminal series

Mapping Terminalシリーズ

省配線センサ! マッピング省配線システム

半導体ウェーハ業界や液晶業界においては、各工程でウェーハやガラスが破損・欠損していないことを確認するために、工程の前後でマッピングセンサによるウェーハの有無チェックを行っています。このマッピングセンサは、主に搬送装置、搬送ロボットなどの装置に取り付けられます。

マッピングセンサの課題

近年、液晶業界に代表されるように、ディスプレイの大型化に伴いワークサイズも大型化してきています。その結果、従来使ってきた透過形光電センサでは、検出距離の長距離化により調整が難しくなってきています。さらに液晶ガラスローダ/アンローダに取り付けられるマッピングセンサは、上下左右方向への動きに対応する必要があり、ケーブル束の取り回しなどに課題があります。さらに液晶ガラス業界は、検出するセンサ間のピッチがまちまちで、機構部品や配線の長さが異なり標準化が難しいと言われています。

マッピングターミナルとは
既存のシステムを変更せず設置可能!
ピッチを気にせずアセンブリ自由自在!

最大180段のマッピングセンサ信号を2線に集約する省配線方式を採用しています。さらにOpen Network対応が不可欠な液晶製造装置において 多種のOpen Networkに対応できることから、多くのパネルメーカに採用されています。また省配線化されていることから、各種ピッチに合わせてケーブルの種類や配線材の取り回しに気をとられず、設計・施工・メンテナンス時のストレスを軽減させます。

マッピング省配線システム カタログ
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マッピングターミナルの特長

  • ①2芯ケーブル一本で接続
    外部との接続は、2芯ロボットケーブルを結線するだけです。
    可動部の多チャンネル検出信号を取込む場合、Mapping Terminalを使用すれば、屈曲部での配線数が軽減されますので断線故障頻度、配線工数の大幅な低減が図れ、装置のコストダウンに加え信頼性が向上します。
  • ②距離が変わっても確実検知
    AnyWire Mapping Terminalは、1mm~30mmの検出距離を実現しています。差動型変位受光回路を採用しており、受光回路の基準点を外乱(外光)などに自動追従させながら変位量を検出しているので、外乱に影響されにくくなっています。
  • ③傾きやたわみにも安定動作
    最近ではガラス基板の大型化が進み、それに伴いたわみの量も大きくなっています。AnyWire Mapping Terminalは拡散形発光/受光素子を複数配列した拡散反射形検出方式ですので、傾きやたわみに対して最大±20゜まで対応できます。
    従来の常識を打ち破り、数倍の発光電流でドライブすることにより検出距離、検出角度が大きく、ガラス面の傾斜角や表面処理を問題にしません。
  • ④各種Open Network対応
    Open Networkに簡単接続できます。さらに各社PLCやモーションコントローラ、PCやEthernetなど、様々な上位システム・ネットワークにシームレスに接続できます。
  • ⑤一括感度調整機能により一箇所で感度調整可能
  • ⑥さまざまなピッチに設置可能
    AnyWire Mapping Terminalは、センサ部分の厚さ2.75mmを実現していますので、標準で15mmピッチに対応します。さらにソケット部分を取り替え基板取付することにより、最小11mmピッチにも対応できます。ショートピッチからロングピッチまで様々な要求にお応えできます。
  • ⑦薄型・軽量
    新しいAnyWire Mapping Terminalは、従来製品に比べて40%まで薄型化されました(弊社製品従来比)。Mapping Terminalのコームは、ワイヤカセットにも対応可能な極薄型(先端t=約2.75mm)です。寸法の厳しい機構にも柔軟に対応します。
    Before 従来の方式After マッピングターミナル方式